半導体製造においては，化学薬品はほとんどすべての工程，特に洗浄，コーティングおよびエッチングにおいて使用されます。これらの工程で使用される腐食性の高い超高純度の化学薬品は，システムとそのコンポーネントの純度との耐薬品性の点で，厳しい要件が設定されています。そのため化学薬品の混合システムおよび供給システムには，高品質フッ素樹脂製ダイアフラムバルブを強く推奨します。半導体製造に最適な GEMÜ の製品とソリューションの詳細については，一例として DFS Fusion 化学薬品混合システムをご覧ください。