Chemicaliën worden in vrijwel alle productieprocessen van halfgeleiders gebruikt, met name bij het reinigen, coaten en etsen. De hier gebruikte agressieve hoogzuivere chemicaliën stellen hoge eisen aan de reinheid en bestendigheid van de installatie en de componenten ervan. Daarom worden voor de meng- en toevoersystemen van chemicaliën membraanafsluiters van hoogwaardige fluorpolymeerkunststoffen ten zeerste aanbevolen. Aan de hand van het DFS Fusion-mengsysteem voor chemicaliën komt u meer te weten over de producten en oplossingen van GEMÜ die uitermate geschikt zijn voor de productie van halfgeleiders.