Componenti in acciaio inox per applicazioni con semiconduttori

Componenti in acciaio inox per applicazioni con semiconduttori

Valvole a membrana in acciaio inox – la scelta perfetta per l'alimentazione di solventi

Nel processo di produzione dei semiconduttori vengono utilizzati solventi critici e aggressivi. Ciò pone esigenze elevate di resistenza chimica e di protezione contro le esplosioni dei componenti che vengono alimentati in un impianto. Le valvole a membrana in acciaio inox GEMÜ sono ideali per queste applicazioni con solventi ultrapuri. Qui presentiamo i nostri diversi tipi di prodotti.

 


Complessità in continuo aumento – Noi abbiamo la soluzione

GEMÜ è il vostro partner di sviluppo quando si tratta di sottogruppi. 

Offriamo di tutto, dai singoli componenti alla produzione di semplici configurazioni saldate e a barra, sino a complessi sottogruppi e collettori. 


Saremo lieti di consigliarvi i giusti sistemi di valvole per la vostra applicazione! 

 

Richiedete subito una consulenza

Componenti in acciaio inox nella produzione di prodotti chimici e wafer per:

• H2SO4 

• TMAH

• H3PO4 

Componenti in acciaio inox nell'alimentazione di solventi per:

• Isopropanolo

• Acetone

• N-metil-pirrolidone (NMP)

Componenti in acciaio inox a livello di processo per:

• litografia (Fotolack)

➥ Vantaggi dei componenti in acciaio inox nell'alimentazione di solventi

Buona conducibilità

I solventi utilizzati hanno un basso punto di ebollizione e si caricano elettrostaticamente molto facilmente nelle tubazioni. Ciò significa che gli impianti di alimentazione dei solventi devono essere costruiti e messi a terra con materiali dissipativi. L'acciaio inox ha una conduttività particolarmente buona. 

Elevata qualità della superficie

La rugosità della superficie dei componenti dell'impianto utilizzati influisce sulla forza di carica del fluido che scorre. Dal 2018 GEMÜ dispone di un centro di tecnologia delle superfici continua a sviluppare competenze in questo settore. Per l'alimentazione di solventi, si consiglia una rugosità compresa tra Ra 0,25 e Ra 0,8 per evitare una carica elettrostatica. Con un'elevata qualità della superficie, si beneficia anche di una migliore pulibilità.

Elevata resistenza

L'acciaio inox ha il vantaggio di essere un materiale molto resistente. Ciò significa che è possibile utilizzare fluidi anche aggressivi senza contaminare il solvente o che la valvola non sia più stagna. Le nostre valvole in acciaio inox sono resistenti a tutti i solventi più comuni, quali:

• 2-Propanolo 99,8%

• Lattato di etile

• Acetone

• NMP

• AZ400T

• NBA

• PGMEA

 

➥ Corpi valvola e tipi di connessione

Collegamento speciale

Attacchi a saldare di testa e raccordi VCR sono considerati i collegamenti standard per componenti in acciaio inox. 

A seconda che i componenti della valvola debbano essere facili da montare o possano essere saldati, si utilizzano raccordi diversi.

 

Corpi valvola

I corpi forgiati sono i corpi standard per i sistemi di alimentazione solventi per i quali si vuole garantire una rugosità superficiale minima.

 

➥ L'alternativa: PTFE rinforzato con fibre di carbonio

Il PTFE rinforzato con fibre di carbonio come alternativa conduttiva all'acciaio inox

In settori particolarmente sensibili ai costi vengono utilizzati anche componenti in PTFE e PTFA resistente. Le materie plastiche, in quanto isolanti elettrici, possono caricarsi staticamente a causa dell'attrito e sono quindi poco adatte all'alimentazione di solventi. Tuttavia, aggiungendo nerofumo conduttivo (carbon black) nel processo di produzione del fluoro polimero, è possibile ottenere una conduttività mirata. Le cariche risultanti possono così essere dissipate in modo controllato, evitando scariche improvvise e relative accensioni.

GEMÜ offre corpi in PTFE conduttivo, nonché tubi flessibili e ghiere in PFA rinforzato con fibre di carbonio. Ad esempio, le valvole a membrana GEMÜ C60 e C67 o la valvola a otturatore con membrana di separazione M-Block GEMÜ PC50 iComLine.

 


Componenti GEMÜ in acciaio inox e plastica

Valvole ad azionamento manuale 

Valvole ad azionamento pneumatico 

Valvole in plastica


Flyer informativo per componenti in acciaio inox per applicazioni con solventi nel settore dei semiconduttori

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