Komponenter i rustfrit stål til halvlederanvendelser

Komponenter i rustfrit stål til halvlederanvendelser

Membranventiler i rustfrit stål - det perfekte valg til opløsningsmiddelforsyning

Kritiske og aggressive opløsningsmidler bruges ved fremstilling af halvlederprodukter. Det stiller høje krav til den kemiske modstandsdygtighed og eksplosionsbeskyttelse af forsyningskomponenterne i et anlæg. GEMÜ-membranventiler i rustfrit stål egner sig perfekt til disse anvendelser med de reneste opløsningsmidler. Her præsenterer vi vores forskellige produkttyper.


Stigende kompleksitet – vi har løsningen

GEMÜ er din udviklingspartner, når det drejer sig om subassemblies. 

Vi tilbyder alt fra enkeltkomponenter og produktion af simple svejse- og stick-konfigurationer til komplekse delmontager og manifolder. 


Vi rådgiver dig gerne, så du får den rigtige ventilteknik til netop dit formål! 

 

Bestil rådgivning nu

Komponenter i rustfrit stål inden for kemi og wafer-fremstilling til:

• H2SO4 

• TMAH

• H3PO4  

Komponenter i rustfrit stål inden for opløsningsmiddelforsyning til:

• Isopropanol

• Acetone

• N-methylpyroolidon (NMP)

Komponenter i rustfrit stål inden for proceslevel til:

• Litografi (fotoresist)

➥ Fordele ved komponenter af rustfrit stål i opløsningsmiddelforsyningen

God ledningsevne

De anvendte opløsningsmidler har et lavt brændpunkt og bliver meget let elektrostatisk opladet i rørledninger. Det betyder, at forsyningssystemer til opløsningsmidler skal bygges og jordes med afladelige materialer. Rustfrit stål har en særlig god ledningsevne. 

Høj overfladekvalitet

Overfladeruheden på de anvendte anlægskomponenter har indflydelse på, hvor kraftigt flowmediet oplades. Siden 2018 har GEMÜ haft et center for overfladeteknologi og opbygger løbende ekspertise på dette område. Til opløsningsmiddelforsyningen anbefales en ruhed på Ra 0,25 til Ra 0,8 for at undgå elektrostatisk opladning. Takket være den høje overfladekvalitet får du også en forbedret rengøringsvenlighed.

Høj holdbarhed

Rustfrit stål har den fordel, at det er et meget holdbart materiale. Det betyder, at man også kan bruge aggressive medier uden at forurene opløsningsmidlet eller få ventilen til at lække. Vores ventiler i rustfrit stål er modstandsdygtige over for alle almindelige opløsningsmidler som f.eks:

• 2-Propanol 99,8 %

• Ethyllactat

• Acetone

• NMP

• AZ400T

• NBA

• PGMEA

 

➥ Ventilhuse og tilslutningstyper

Særlige tilslutningstyper

De forskellige tilslutninger anvendes, afhængigt af om ventilkomponenterne skal være lette at montere eller kan svejses ind.

 

 

 

Ventilhuse
Smedede huse er standardhuse til opløsningsmiddelforsyningssystemer, da de giver minimal overfladeruhed.

 

➥ Alternativet: Kulfiberforstærket PTFE

Kulfiberforstærket PTFE som et ledende alternativ til rustfrit stål

Komponenter af modstandsdygtig PTFE og PTFA anvendes også inden for særligt omkostningsfølsomme områder. Plast som elektrisk isolator kan blive statisk opladet ved friktion og er derfor ret uegnet til opløsningsmiddelforsyning. Men ved at tilsætte ledende blysod (kulstof) i produktionsprocessen af fluorpolymeren, kan man opnå en målrettet ledningsevne. På den måde kan de resulterende ladninger aflades på en kontrolleret måde, så pludselige afladninger og tilhørende antændelser forhindres.

GEMÜ tilbyder huse af ledende PTFE samt slanger og omløbermøtrikker af kulfiberforstærket PFA. For eksempel GEMÜ-membranventilerne C60 og C67 eller M-Block-membransædeventilen  PC50 iComLine

 


GEMÜ-komponenter i rustfrit stål og plast

Manuelt aktiverede ventiler 

Se mere

Pneumatisk aktiverede ventiler

Se mere

Plastventiler

Se mere


Infoflyer om komponenter i rustfri stål til opløsningsmiddelanvendelser i halvledersektoren

pdf695 KB

 

Kontakt os!

Har du spørgsmål til vores produkter?

Vi er klar til at hjælpe dig.

Kontakt