Компоненты из нержавеющей стали для использования при изготовлении полупроводников

Компоненты из нержавеющей стали для использования при изготовлении полупроводников

Мембранные клапаны из нержавеющей стали — отличный выбор для систем подачи растворителей

В процессе производства полупроводников используются опасные и агрессивные растворители. Это обуславливает высокие требования к химической стойкости и взрывобезопасности компонентов питания системы. Мембранные клапаны GEMÜ, изготовленные из нержавеющей стали, оптимально подходят для работы со сверхчистыми растворителями. Здесь мы представляем вам различные компоненты из нашей программы продукции.

 


Задачи всё сложнее? У нас есть подходящие решения!

GEMÜ — ваш партнёр по развитию, когда речь идет о сборочных узлах. 

Мы предлагаем вам полный спектр: от производства отдельных компонентов до изготовления простых конфигураций сварных и клеевых конструкций, а также сложных узлов и коллекторов. 


Мы будем рады проконсультировать вас при выборе подходящих клапанов для конкретной области применения! 

Запросить консультацию сейчас

Компоненты из нержавеющей стали в химической промышленности и производстве полупроводниковых пластин для работы с:

• H2SO4; 

• TMAH;

• H3PO4. 

Компоненты из нержавеющей стали в системе подачи растворителей для работы с:

• изопропанолом;

• ацетоном;

• N-метилпирролидоном (NMP).

Компоненты из нержавеющей стали на технологическом уровне для:

• литографии (фотолак).

➥ Преимущества компонентов из нержавеющей стали при использовании в системах подачи растворителей

Оптимальная электрическая проводимость

Используемые растворители имеют низкую температуру воспламенения и очень легко поддаются статической электризации внутри трубопроводов. Это означает, что системы подачи растворителей должны изготавливаться и заземляться с применением токоотводящих материалов. Нержавеющая сталь обладает особенно хорошей проводимостью. 

Высокое качество поверхности

Шероховатость поверхности используемых компонентов системы влияет на то, насколько заряженной вследствие статической электризации будет становиться текучая рабочая среда. С 2018 года компания GEMÜ открыла Центр технологий обработки поверхностей и продолжает непрерывно совершенствоваться в этой области. Для систем подачи растворителей рекомендуется использовать клапаны с шероховатостью поверхности от Ra 0,25 до Ra 0,8, чтобы избежать эффектов статической электризации. Кроме того, благодаря высокому качеству обработки поверхности улучшается очищаемость оборудования.

Высокая стойкость

Важным преимуществом нержавеющей стали является её очень высокая (химическая) стойкость. Это означает возможность использования агрессивных сред без потенциальной опасности загрязнения растворителя или нарушения герметичности клапана. Наши клапаны из нержавеющей стали устойчивы ко всем обычным растворителям, таким как:

• 2-пропанол 99,8 %;

• этиллактат;

• ацетон;

• NMP;

• AZ400T;

• NBA;

• PGMEA.

 

➥ Корпусы клапанов и виды соединений

специальное соединение 

Патрубки под сварку и соединения VCR считаются стандартными соединениями для компонентов из нержавеющей стали. 

В зависимости от того, что требуется от компонентов клапана — должны ли они быть простыми в сборке или их можно приваривать, используются различные соединения.

 

 

Корпусы клапанов

Кованые корпусы являются стандартным вариантом для систем подачи растворителей и обеспечивают минимальную шероховатость поверхности.

 

➥ Альтернатива: усиленный углеродным волокном PTFE

Армированный углеродным волокном PTFE как альтернатива нержавеющей стали с электрической проводимостью

В особо чувствительных к затратам областях также применяются компоненты из стойких PTFE и PTFA. Пластики, используемые в качестве электрических изоляторов, могут подвергаться статической электризации вследствие трения и поэтому непригодны для использования в системах подачи растворителей. Однако, нужная проводимость может достигаться путем добавления электропроводящей сажи (углерода) в процессе производства фторсодержащего полимера. Возникающие в результате электростатические заряды могут безопасно отводиться, предотвращая тем самым внезапные электрические разряды и связанные с этим возгорания.

GEMÜ предлагает корпусы из проводящего PTFE, а также шланги и накидные гайки из усиленного (армированного) углеродным волокном PFA. Например, мембранные клапаны GEMÜ C60 и C67 или

многоходовой мембранный седельный клапан GEMÜ PC50 iComLine.. 

 


Компоненты GEMÜ из нержавеющей стали и пластика

Клапаны с ручным управлением 

Клапаны с пневматическим управлением

 Подробнее

Пластмассовые клапаны


Информационная брошюра «Компоненты из нержавеющей стали для систем подачи растворителей при изготовлении полупроводников»

pdf695 KB

 

Свяжитесь с нами!

Есть вопросы по нашим продуктам?

Мы будем рады помочь!

Контактная информация