GEMÜ CleanStar シリーズのダイアフラムバルブは，長年にわたり，世界中の半導体産業で使用されてきました。GEMÜ のお客様の間では，その構造がもたらす利点と，アクチュエーターサイズ 1～3 の考え抜かれたサイズ分けによる多様な用途が好評を博しています。このたび，バルブ専門メーカーGEMÜ は GEMÜ CleanStar ファミリーにアクチュエーターサイズ 4 を追加し，設置面積と流量に関して新たな基準を打ち立てました。

バルブ技術に対する半導体産業の要求は増大し続けています。ますます微細化の進むマイクロチップ上の構造には，粒子の混入していない最高純度の流体が必要となります。同時に，近年ウェハーの大口径化に伴い，プロセス流体の必要量も増加しています。これらの動向を考慮し，GEMÜ は新しいアクチュエーターサイズを導入しました。新しいアクチュエーターサイズ 4 は呼び径 1½ インチおよび 2 インチのものをご用意しており，接液部は PFA または PTFE TFMTM 製です。これらの組み合わせにより，大量の流体の搬送と，半導体製造の供給および分配セクションにおける超高純度バルブ技術の使用が可能になります。同時に GEMÜ CleanStar シリーズは，そのコンパクトな構造により優れた流量/設置面積比を実現し，将来的にダイアフラムバルブ GEMÜ 600 HP および GEMÜ 677 HP/HPW に取って代わります。

GEMÜ CleanStar：定評ある構造で新たな用途を開拓

GEMÜ CleanStar シリーズにはさまざまな利点があります。中央のユニオンナットはアクチュエーターとバルブボディを確実に結合し，その際に金属部品は一切使用しません。流路に堰のある構造（ウェア形）は，流体のスムーズな流れに寄与し，デッドレグを最小限に抑え，流れ方向を制限しません。アクチュエーターハウジングは PVDF 製のため，非常に高い耐薬品性があります。また，漏れ検出穴と，自由度の高いバルブの組み立てを可能にする固定穴が，あらかじめボディ構造に一体化されています。さらに，このシリーズはポジションインジケーターを標準装備しています。これらの利点はすべて，新しいアクチュエーターサ