I mange år har halvlederindustrien i hele verden med succes anvendt membranventiler i GEMÜ's CleanStar-serie. GEMÜ's kunder sætter pris på fordelene ved designet og de mange anvendelsesmuligheder, som den gennemtænkte graduering af aktuatorstørrelserne fra 1 til 3 giver. Nu udvider ventilspecialisten GEMÜ CleanStar-serien med aktuatorstørrelse 4 og sætter dermed nye standarder for fodaftryk og flowhastighed.

Kravene til ventilteknologi i halvlederindustrien er stødt stigende. Da strukturen af mikrochipsene bliver stadig finere, stilles der store krav til, at væskerne er rene og fri for partikler. Da waferdiametrene også er blevet større i løbet af de senere år, er der også behov for større mængder procesmedier. Med lanceringen af den nye aktuatorstørrelse tager GEMÜ højde for begge udviklinger. Den nye aktuatorstørrelse 4 fås i den nominelle diametre 1½" og 2", og de medieberørte dele består af PFA og PTFE TFMTM. Denne kombination gør det muligt at transportere store mængder medier og at anvende ventilteknologi med høj renhed på forsynings- og distributionsniveau inden for halvlederproduktion. Samtidig sikrer det kompakte GEMÜ CleanStar-design et enestående forhold mellem flow og fodaftryk og vil i fremtiden erstatte membranventilerne GEMÜ 600 HP og GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: Et gennemtestet design får nye anvendelsesmuligheder

GEMÜ CleanStar-serien har mange fordele. Den centrale omløbermøtrik skaber en pålidelig forbindelse mellem aktuator og ventilhus og indeholder ikke nogen metaldele. Det forhøjede design (weir style) sikrer, at mediet transporteres uden stress, minimerer døde områder og er ikke bundet af en bestemt flowretning. De udvendige dele er meget kemikalieresistente takket være brugen af PVDF. Et lækagehul og aflange huller til fleksibel samling af ventilerne er allerede integreret i husets design. Desuden er serien som standard udstyret med en stillingsvisning. Alle disse fordele er overtaget ved skaleringen af den nye aktuatorstørrelse 4. Takket være de større nominelle diametre tilbyder GEMÜ sine kunder alle de nævnte produktfordele på forsynings- og distributionsniveau (Facility og Sub-Fab) inden for halvlederproduktion.