Вот уже много лет при производстве полупроводников по всему миру успешно используются мембранные клапаны серии GEMÜ CleanStar. Клиенты GEMÜ ценят преимущества конструкции, а также продуманную градацию размеров привода от 1 до 3, которая позволяет использовать клапаны во многих областях. Теперь производитель клапанов расширяет свою линейку GEMÜ CleanStar до размера привода 4 и, таким образом, открывает новые возможности применения относительно конструктивных размеров и расхода.

Требования к клапанному оборудованию при производстве полупроводников непрерывно возрастают. Для постоянно уменьшающихся структур на микрочипе требуются максимальная чистота среды и отсутствие в ней посторонних частиц. Одновременно из-за увеличивающегося диаметра полупроводниковой пластины за прошедшие годы увеличилось и необходимое количество технологических сред. Обе тенденции принимались GEMÜ в расчет при создании нового размера привода. Новый размер привода 4 доступен в номинальных размерах 1½" и 2", а контактирующие с рабочей средой детали выполнены из PFA или PTFE TFMTM. Такое сочетание позволяет передавать большее количество среды и уже на стадии снабжения и распределения при изготовлении полупроводниковых приборов использовать клапанное оборудование высокой чистоты. При этом GEMÜ CleanStar за счет компактного дизайна обеспечивает превосходное соотношение расхода / конструктивных размеров и в будущем заменит мембранные клапаны GEMÜ 600 HP, а также GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: проверенный дизайн в новых областях применения

Серия GEMÜ CleanStar имеет множество преимуществ. Центральная накидная гайка обеспечивает надежное соединение между приводом и корпусом клапана и позволяет полностью отказаться от использования металлических деталей. Дизайн перемычки (weir style) обеспечивает плавную подачу среды, минимизирует наличие застойных зон и не задает направления потока. Наружные детали за счет использования PVDF имеют очень хорошую химическую стойкость. Отверстие утечки, а также продольные отверстия для гибкого монтажа клапана уже интегрированы в дизайн корпуса. Кроме того, все клапаны серии в стандартной комплектации оснащаются индикатором положения. Все эти преимущества были сохранены при переходе на новый размер привода 4. Благодаря большим номинальным размерам GEMÜ позволяет клиентам использовать все указанные преимущества уже на стадиях снабжения и распределения (Facility и Sub-Fab) при изготовлении полупроводниковых приборов.