Depuis de nombreuses années, les vannes à membrane de la série GEMÜ CleanStar font leurs preuves dans l'industrie des semi-conducteurs partout dans le monde. Les clients de GEMÜ apprécient les avantages offerts par leur structure ainsi que la multitude d'applications possibles grâce à l'éventail bien pensé des tailles d'actionneur 1 à 3. Aujourd'hui, le spécialiste des vannes ajoute à sa gamme GEMÜ CleanStar la taille d'actionneur 4, et établit ainsi des références en termes d'encombrement et de débit.

Dans l'industrie des semi-conducteurs, les exigences s'appliquant à la technologie des vannes ne cessent de croître. Des structures toujours plus petites sur les puces exigent le recours à des fluides d'une pureté maximale et totalement exempts de particules. Parallèlement, l'augmentation du diamètre des tranches au cours des dernières années a provoqué un accroissement de la quantité de fluides de process nécessaire. Grâce au lancement de la nouvelle taille d'actionneur, GEMÜ répond à ces deux évolutions. La nouvelle taille d'actionneur 4 est disponible dans le diamètre nominal 1½" ou 2" et les pièces en contact avec le fluide sont fabriquées en PFA ou en PTFE TFMTM. Cette combinaison permet de transporter de plus grandes quantités de fluide et de mettre en œuvre une technologie des vannes ultra-pure dès le niveau de l'alimentation et de la distribution dans la fabrication de semi-conducteurs. Parallèlement, la conception compacte de GEMÜ CleanStar offre un excellent rapport débit/encombrement et se substituera désormais aux vannes à membrane GEMÜ 600 HP ainsi que GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: une conception éprouvée part à la conquête de nouvelles applications

La série GEMÜ CleanStar offre de nombreux avantages. L'écrou d'accouplement central permet d'obtenir une liaison fiable entre l'actionneur et le corps de vanne tout en se passant totalement de pièces métalliques. La conception à siège surélevé (« weir style ») assure une circulation des fluides en douceur et réduit les zones mortes sans imposer de sens de débit. Grâce à l'utilisation de PVDF, les parties situées à l'extérieur présentent une très bonne résistance chimique. Un perçage de fuite ainsi que des trous oblongs conçus pour un montage flexible des vannes sont déjà intégrés dans le design de corps. La série dispose par ailleurs en standard d'un indicateur de position. Autant d'avantages conservés lors du passage à la nouvelle taille d'actionneur 4. Grâce aux diamètres plus élevés, GEMÜ permet à ses clients de profiter des avantages de produit sus-mentionnés dès le niveau de l'alimentation et de la distribution (« Facility » et « Sub-Fab ») dans la fabrication de semi-conducteurs.