Puolijohdeteollisuus on käyttänyt GEMÜ CleanStar -mallisarjan kalvoventtiilejä menestyksekkäästi jo useiden vuosien ajan eri puolilla maailmaa. GEMÜn asiakkaat arvostavat rakenteen tarjoamia etuja sekä monipuolisia sovellusmahdollisuuksia toimilaitekokojen hyvin suunnitellun porrastuksen 1–3 ansiosta. Nyt venttiiliasiantuntija laajentaa GEMÜ CleanStar -tuoteperhettä toimilaitekoolla 4 ja asettaa sen myötä mittapuita ns. jalanjäljen ja läpivirtauksen suhteen.

Puolijohdeteollisuuden venttiilitekniikalle asettamat vaatimukset kasvavat jatkuvasti. Jatkuvasti pienentyvät rakenteet mikrosiruissa edellyttävät fluidien maksimaalista puhtautta ja hiukkasettomuutta. Samalla myös tarvittava prosessiväliainemäärä on kasvanut puolijohdekiekkojen halkaisijoiden suurennuttua viime vuosien aikana. GEMÜ on huomioinut molemmat muutokset lanseeraamalla uuden toimilaitekoon. Uudesta toimilaitekoosta 4 on tarjolla nimelliskoot 1½" ja 2", väliaineen kanssa kosketuksissa olevien osien materiaalina on PFA tai PTFE TFMTM. Tämä yhdistelmä mahdollistaa isojen väliainemäärien kuljettamisen sekä erittäin puhtaan venttiilitekniikan käytön puolijohdevalmistuksessa jo syöttö- ja jakelutasolla. Samalla kompakti GEMÜ CleanStar -rakenne takaa erinomaisen läpivirtaus-jalanjälki-suhteen ja korvaa tulevaisuudessa kalvoventtiilit GEMÜ 600 HP ja GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: luotettava rakenne tarjoaa uusia käyttötarkoituksia

GEMÜ CleanStar -mallisarja tarjoaa paljon erilaisia etuja. Keskellä oleva hattumutteri muodostaa toimilaitteen ja venttiilinrungon välille luotettavan yhteyden, ja sen ansiosta metalliosien käyttö ei ole tarpeen. Harjannedesign (Weir Style) takaa väliaineen vähästressisen ohjauksen, minimoi kuolleen tilan eikä määritä läpivirtaussuuntaa. Ulkopuolen osien kemiallinen kestävyys on erinomainen niissä käytetyn PVDF:n ansiosta. Vuotoreikä ja pitkittäisreiät venttiilien joustavaa asennusta varten on integroitu valmiiksi runkorakenteeseen. Lisäksi mallisarjassa on vakiona asennon näyttö. Kaikki nämä edut on saatu toteutettua uuteen toimilaitekokoon 4 skaalaamisen yhteydessä. Suurempien nimelliskokojen myötä GEMÜ tarjoaa kaikki mainitut tuote-edut asiakkailleen käyttöön jo puolijohdevalmistuksen syöttö- ja jakelutasolla (Facility ja Sub-Fab).