Instalación de alimentación de sustancias químicas de alta pureza

Instalación de alimentación de sustancias químicas de alta pureza

Supply installation for high purity chemicals
En la fabricación de microchips deben cumplirse requerimientos de pureza muy exigentes en todos los pasos de la producción. Incluso los fluidos de trabajo necesarios para la producción, los depósitos de transporte y las instalaciones de distribución para las distintas áreas de producción están sujetos a estas exigencias. La razón es el ínfimo tamaño de los circuitos integrados de los semiconductores. Además, en las obleas o cerca de ellas no puede haber ningún tipo de partícula conductora de electricidad, como iones o moléculas de metal. Si así fuera, las partículas podrían ocupar los pequeños huecos que separan los conductores y provocar cortocircuitos. Asimismo, influirían en las características eléctricas de los semiconductores y, como consecuencia, en el funcionamiento.
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