Puhdistettujen kemikaalien syöttölaitteisto

Puhdistettujen kemikaalien syöttölaitteisto

Supply installation for high purity chemicals
Esimerkiksi tietokoneissa käytettävien mikrosirujen valmistuksessa jokaisen valmistusprosessin on täytettävät tiukat puhtaudelle asetettavat vaatimukset. Tämä koskee myös tuotannossa tarvittavia käyttöaineita, kuljetussäiliöitä ja tuotantoalueen jakelulaitteistoja. Se johtuu puolijohteiden kytkentäpiirit ovat äärimmäisen pieniä. Puolijohteisiin ei saa myöskään päästä mitään sähköä johtavia hiukkasia, kuten metalli-ioneja tai -molekyylejä, eikä niitä saa olla puolijohteiden tuotantoympäristössä. Jos näin kuitenkin pääsee tapahtumaan, kyseiset hiukkaset voivat täyttää johdinlinjojen pienet raot ja aiheuttaa oikosulun. Lisäksi ne vaikuttavat puolijohteiden sähköominaisuuksiin ja sen myötä myös niiden toimintaan.
lisää sovelluksia

Hyödyllinen download

DE
pdf
122 KB
GB
pdf
121 KB