Toevoersysteem voor ultrareine chemicaliën

Toevoersysteem voor ultrareine chemicaliën

Supply installation for high purity chemicals
Om bijv. microchips voor computers te vervaardigen, dient tijdens alle fabricageprocessen aan de hoogste zuiverheidseisen te worden voldaan. Ook de voor de productie noodzakelijke procesmedia, transportcontainers en verdeelinstallaties in de productiebereiken vallen onder deze noodzaak. Reden hiervoor zijn de uiterst geminiaturiseerde schakelcircuits van de halfgeleiders. Bovendien mogen er geen elektrisch geleidende deeltjes zoals metaalionen of -moleculen op de wafers terechtkomen of in de omgeving daarvan aanwezig zijn. Zou dit het geval zijn, dan zouden deze deeltjes de kleine tussenruimten van de geleidersporen vullen en kortsluiten. Daarnaast beïnvloeden ze de elektrische eigenschappen van de halfgeleider en daarmee de werking.
Meer toepassingen

Handig om te downloaden

DE
pdf
122 KB
GB
pdf
121 KB