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Installation d'alimentation pour produits chimiques ultra-purs

Supply installation for high purity chemicals
Pour fabriquer des puces, par exemple pour ordinateurs, il convient de satisfaire à des exigences de propreté extrêmes dans tous les processus de fabrication. La production des fluides de services nécessaires, des réservoirs de transport et des installations de distribution est soumise à cette nécessité. Ceci est lié à l'extrême miniaturisation des circuits de semi-conducteurs. De plus, aucune particule conductrice, comme les ions ou les molécules métalliques, ne doivent arriver sur la plaquette ni se trouver dans ses environs. Dans le cas contraire, ces micro-particules pourraient remplir les petits interstices des circuits conducteurs et provoquer un court-circuit. Enfin, elles influencent les propriétés électriques des semi-conducteurs et donc leur fonctionnement.
Autres cas d'application

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