L'industrie des semi-conducteurs soumet les systèmes de vannes, de mesure et de régulation à des exigences strictes. De plus en plus, les vannes à commande pneumatique ne suffisent plus pour répondre aux exigences de régulation formulées par les grands fabricants d'équipements de process. C'est pour cette raison que le spécialiste des vannes GEMÜ a développé la vanne de régulation à commande motorisée GEMÜ C53 iComLine.

La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour les applications de régulation précises et complexes nécessaires à la fabrication des semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie PD (Plug Design) éprouvée de GEMÜ, qui consiste à séparer l'actionneur et le fluide au moyen d'un cône de régulation en PTFE résistant. Le contour du cône de régulation, la course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être adaptés aux besoins spécifiques du client. De ce fait, GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences de l'industrie high-tech des semi-conducteurs en matière de régulation et de débit. Grâce à la combinaison d'un moteur pas à pas précis et de matériaux de corps ultra-purs, la vanne peut notamment être utilisée dans chaque usine de fabrication de semi-conducteurs pour les process de lithographie, de polissage mécanochimique et de gravure, tout comme pour les applications du domaine analytique.

Dans ce cadre, la vanne à clapet à membrane GEMÜ C53 iComLine ne se contente pas de servir de simple vanne à passage direct. Elle peut en effet être intégrée dans un bloc M GEMÜ PC50 iComLine afin de mettre en œuvre des schémas de procédé complexes, tout en réduisant l'encombrement à un minimum. Lors de la fabrication de corps annulaires en silicium, un bloc de vannes multivoies peut par exemple réguler la température de l'eau déminéralisée dans les installations de nettoyage de FOUP. Pour cela, il est possible d'intégrer des clapets anti-retour et des capteurs dans le bloc M GEMÜ PC50 iComLine.