L'industria dei semiconduttori pone sempre nuove sfide alla tecnologia delle valvole e ai sistemi di misura e di regolazione. Sempre più spesso le valvole ad azionamento pneumatico non sono più sufficienti per rispondere alle esigenze dei principali produttori di equipaggiamenti di processo, ecco perché GEMÜ, lo specialista delle valvole, ha sviluppato la valvola di regolazione ad azionamento elettrico GEMÜ C53 iComLine.

La valvola a membrana-piattello a 2/2 vie GEMÜ C53 iComLine è stata progettata per applicazioni di regolazione precise e difficili nella produzione di semiconduttori. Il principio di tenuta della valvola si basa sulla comprovata tecnologia PD di GEMÜ, che consente di separare l'attuatore e il fluido tramite un otturatore conico in PTFE resistente. Essendo possibile adattare alle esigenze del cliente il contorno dell'otturatore, la corsa dell'attuatore e le dimensioni dell'attacco, la GEMÜ C53 iComLine riesce a compiere pressoché tutte le operazioni di regolazione e di portata nella moderna industria dei semiconduttori. Combinando il preciso motore passo passo con materiali del corpo ad elevata purezza, la valvola risulta particolarmente adatta ai processi di litografia, CMP e acidatura, nonché alle applicazioni di analisi nella produzione di semiconduttori,

in cui la valvola a membrana-piattello GEMÜ C53 iComLine può essere utilizzata non solo come semplice valvola a via rettilinea, bensì integrata in un gruppo valvole a più vie (M-Block) GEMÜ PC50 iComLine, per realizzare così un complesso schema a blocchi in uno spazio ridotto. Nella lavorazione di wafer al silicio è possibile utilizzare un gruppo valvole a più vie, ad esempio in un FOUP Cleaner, per regolare la temperatura dell'acqua distillata, inoltre, nel gruppo valvole a più vie GEMÜ PC50 iComLine, è possibile integrare valvole di ritegno e sensori.