半導体産業では，バルブ技術，計測技術，制御システムに対する要件が厳しいです。プロセス機器の主要メーカーの制御要件を満たすには，空気操作式バルブでは不十分な場合が増えてきています。このためバルブ専門メーカーの GEMÜ は，電動コントロールバルブ GEMÜ C53 iComLine を開発しました。2/2-way ダイアフラムグローブバルブ GEMÜ C53 iComLine は，半導体産業における精密で要件の厳しい制御アプリケーション向けに開発されたものです。このバルブで採用されているシール方式は定評ある GEMÜ PD テクノロジーに基づくもので，アクチュエーターと流体は，耐薬品性の高い PTFE 製の円錐形状レギュレーティングコーンで隔てられています。レギュレーティングコーンの輪郭，アクチュエーターのストローク，接続口径はカスタマイズが可能ですので，GEMÜ C53 iComLine はハイテクノロジーの半導体産業のほとんどすべての制御および流量要件を満たします。精密なステッピングモーターとハイピュリティーボディ材質を組み合わせたこのバルブは，特にリソグラフィー工程，CMP 工程，エッチング工程，および半導体製造における分析作業での用途に適しています。ダイアフラムグローブバルブ GEMÜ C53 iComLine は，単純な 2/2-way バルブとしての組み込みが可能なだけではありません。複雑な流路構造を最小のスペースで実現するために，GEMÜ PC50 iComLine を M ブロックに統合することもできます。シリコンウェハーの加工の際には，たとえば脱イオン水の温度制御のためにマルチポートブロックバルブを FOUP-Cleaner において使用することもできます。このため，GEMÜ PC50 iComLine チャッキバルブとセンサーを M ブロックに統合することができます。