Puolijohdeteollisuus asettaa tiukat vaatimukset venttiili-, mittaus- ja säätötekniikalle. Pneumaattisesti käytettävät venttiilit eivät enenevässä määrin enää riitä täyttämään prosessilaitteistojen johtavien valmistajien säätövaatimuksia. Tämän vuoksi venttiiliasiantuntija GEMÜ päätyi kehittämään sähkömoottorikäyttöisen säätöventtiilin GEMÜ C53 iComLine.

2/2-tiekalvoistukkaventtiili GEMÜ C53 iComLine on tarkoitettu puolijohdevalmistuksen tarkkoihin ja vaativiin säätösovelluksiin. Venttiilin tiivisterakenne perustuu luotettavaan GEMÜn PD-tekniikkaan, joka erottaa toimilaitteen ja väliaineen toisistaan kartiomallisella, kestävällä PTFE-säätökartiolla. Säätökartion muoto, toimilaiteiskut ja liitäntäkoot voidaan sovittaa asiakaskohtaisesti, minkä ansiosta GEMÜ C53 iComLine täyttää lähes kaikki huippumodernin puolijohdeteollisuuden säätö- ja läpivirtausvaatimukset. Tarkan askelmoottorin ja erittäin puhtaiden runkomateriaalien ansiosta venttiili soveltuu erityisesti litografisiin, kemiallis-mekaanisiin ja etsausprosesseihin sekä analytiikkasovelluksiin puolijohdevalmistuksessa.

Kalvoistukkaventtiili GEMÜ C53 iComLine voidaan asentaa yksinkertaiseksi läpivirtausventtiiliksi, mutta myös muunlaiset ratkaisut ovat mahdollisia. M-lohkoon GEMÜ PC50 iComLine integrointi on niin ikään mahdollista monimutkaisten prosessikaavioiden toteuttamiseksi mahdollisimman pienessä tilassa. Piikiekkoja käsiteltäessä monitieventtiililohkoa voidaan käyttää esimerkiksi FOUP-puhdistuskoneessa DI-veden lämpötilansäätelyyn. Sitä varten M-lohkoon GEMÜ PC50 iComLine voidaan integroida asianmukaiset takaiskuventtiilit ja tunnistimet.