GEMÜ C53 iComLine

Elektromotorisch betätigtes Regelventil

  • Beschreibung
  • Merkmale
  • Technische Details

Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet er sich insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse und Anwendungen im Analytik-Bereich einer jeden Halbleiterfertigung.

  • Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
  • Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
  • Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
  • Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
  • Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
  • 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
  • Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F 57
  • Medientemperatur:10 bis 150 °C
  • Umgebungstemperatur:0 bis 40 °C
  • Betriebsdruck:0 bis 6 bar
  • Anschlussgrößen:1/4'' bis 3/4''
  • Körperformen:Durchgangskörper
  • Anschlussarten:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Körperwerkstoffe:PTFE TFM™ | PFA
  • Dichtwerkstoff:PTFE TFM™
  • Versorgungsspannung:24 V DC
  • Eingangssignale:0 - 10 V | 4 - 20 mA
  • Stellgeschwindigkeit:max. 2 mm/s
  • Schutzart:IP65
Selbstdichtende Verbindung bei GEMÜ PC50 iComLine Ventilblocklösungen

Anwendung zum Produkt

Selbstdichtende Verbindung bei GEMÜ PC50 iComLine Ventilblocklösungen

Im Halbleiterbereich kommen verschiedene Chemikalien bei Reinigungs-, Beschichtungs- und Ätzprozessen zum Einsatz. Um diese teils hoch aggressiven Chemikalien auch bei begrenzten Platzverhältnissen regeln zu können, kommen GEMÜ PC50 iComLine Ventilblocklösungen zum Einsatz. Um einzelne Blockbestandteile zu verbinden, setzt GEMÜ auf O-Ring freie Verbindungsmöglichkeiten. Erfahren Sie in diesem Anwendungsfall, wie GEMÜ die Herausforderungen der Verbindungstechnik meistert und eine selbstdichtende Verbindung als Standard anbieten kann.

News zum Produkt

20.07.2020

GEMÜ entwickelt neues elektromotorisch betätigtes Regelventil