Diese Webseite verwendet Cookies.

Für unsere Webseiten und unseren Online-Shop setzen wir technisch notwendige Cookies und Cookies, die wir benötigen, um Ihre Anfragen bearbeiten zu können. Zusätzlich nutzen wir so genannte Tracking-Cookies. Mit Ihrer Hilfe können wir unsere Online-Auftritte optimieren und Ihnen so ein besseres Nutzungserlebnis anbieten. ...

Weitere Informationen finden Sie in unserer Datenschutzerklärung. Datenschutzerklärung

Funktionale Cookies

Diese Cookies sind zwingend notwendig, um alle Funktionen der GEMÜ Webseiten nutzen zu können und sind deshalb voreingestellt und können nicht deaktiviert werden. Ggf. können Sie dies umgehen, indem Sie die Einstellungen in Ihrem Browser ändern.

Webanalyse-Cookies

Sie können sich hier entscheiden, ob in Ihrem Browser ein eindeutiger Webanalyse-Cookie abgelegt werden darf, um dem Betreiber der Website die Erfassung und Analyse verschiedener statistischer Daten zu ermöglichen. Wenn Sie sich dagegen entscheiden möchten, klicken Sie den folgenden Link, um den Piwik-Deaktivierungs-Cookie in Ihrem Browser abzulegen.

Derzeit ist es GEMÜ leider nicht möglich, Einstellungen für mehrere Browser oder über Benutzerkontenübergreifend zu hinterlegen. Ebenso besteht die Möglichkeit, dass abhängig von Ihren Sicherheitseinstellungen im Browser, die von GEMÜ gesetzten Cookies durch das Schließen des Browsers verworfen werden und somit in Ihrer nächsten Sitzung nicht mehr zur Verfügung stehen. Falls Sie Ihren Browser schließen, wechseln oder mehrere PCs nutzen, müssen Sie manche Anpassungen ggf. erneut vornehmen.

GEMÜ C53 iComLine

Elektromotorisch betätigtes Regelventil

  • Beschreibung
  • Merkmale
  • Technische Details

Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet er sich insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse und Anwendungen im Analytik-Bereich einer jeden Halbleiterfertigung.

  • Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
  • Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
  • Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
  • Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
  • Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
  • 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
  • Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F 57
  • Anschlussart: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
  • Antriebsart: elektromotorisch
  • Dichtwerkstoff
  • Körperwerkstoff: PFA; PTFE TFM™
  • Max. Betriebsdruck: 6 bar
  • Max. Medientemperatur: 150 °C
  • Min. Medientemperatur: 10 °C
  • Nennweiten: DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2''); DN 20 (3/4'')

News zum Produkt

20.07.2020

GEMÜ entwickelt neues elektromotorisch betätigtes Regelventil