GEMÜ C53 iComLine

Elektromotorisch betätigtes Regelventil

  • Beschreibung
  • Merkmale
  • Technische Details

Das 2/2-Wege-Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der Halbleiterindustrie. Der präzise Schrittmotor eignet sich in Verbindung mit den hochreinen Körperwerkstoffen insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse sowie analytische Anwendungen in einer Halbleiterfertigung.

  • Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
  • Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
  • Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
  • Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
  • Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
  • 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
  • Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F57
  • Medientemperatur:10 bis 150 °C
  • Umgebungstemperatur:0 bis 40 °C
  • Betriebsdruck:0 bis 6 bar
  • Anschlussgrößen:1/4'' bis 3/4''
  • Körperformen:Durchgangskörper
  • Anschlussarten:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Körperwerkstoffe:PFA | PTFE
  • Dichtwerkstoff:PTFE
  • Versorgungsspannung:24 V DC
  • Eingangssignale:0 - 10 V | 4 - 20 mA
  • Stellgeschwindigkeit:max. 2 mm/s
  • Schutzart:IP65
Produktübersicht Mehrwege-Ventilblöcke
Selbstdichtende Verbindung bei GEMÜ PC50 iComLine Ventilblocklösungen

Anwendung zum Produkt

Selbstdichtende Verbindung bei GEMÜ PC50 iComLine Ventilblocklösungen

Im Halbleiterbereich kommen verschiedene Chemikalien bei Reinigungs-, Beschichtungs- und Ätzprozessen zum Einsatz. Um diese teils hoch aggressiven Chemikalien auch bei begrenzten Platzverhältnissen regeln zu können, kommen GEMÜ PC50 iComLine Ventilblocklösungen zum Einsatz. Um einzelne Blockbestandteile zu verbinden, setzt GEMÜ auf O-Ring freie Verbindungsmöglichkeiten. Erfahren Sie in diesem Anwendungsfall, wie GEMÜ die Herausforderungen der Verbindungstechnik meistert und eine selbstdichtende Verbindung als Standard anbieten kann.

News zum Produkt

20.07.2020

GEMÜ entwickelt neues elektromotorisch betätigtes Regelventil