GEMÜ C53 iComLine

Elektromotorisch bediende regelafsluiter

  • Beschrijving
  • Kenmerken
  • Technische details

De 2/2-weg membraan-zittingafsluiter GEMÜ C53 iComLine werd ontwikkeld voor precieze en veeleisende regeltoepassingen in de halfgeleiderproductie. Het afdichtingsprincipe van de afsluiter berust op de beproefde GEMÜ PD-technologie waarbij de aandrijving en het medium door een PTFE-regelkegel gescheiden worden. Omdat regelkegelcontour, aandrijfslag en aansluitgroottes volgens specifieke wensen van de klant aangepast kunnen worden, voldoet GEMÜ C53 iComLine aan vrijwel alle regel- en doorstromingseisen van de technologisch hoogontwikkelde halfgeleiderindustrie. Door de combinatie van de precieze stappenmotor met ultrareine behuizingsmaterialen is de afsluiter met name geschikt voor lithografie-, CMP- en etsprocessen alsmede voor toepassingen op analytisch gebied in elke halfgeleiderproductie.

  • Regelafsluiter voor ultrareine toepassingen in de halfgeleiderindustrie
  • Lineaire aandrijving met hoge resolutie met stappenmotor
  • Membraanzittingafsluiter op basis van de iComLine-serie
  • Beproefde plug-diaphragm-technologie
  • Alle onderdelen die met medium in contact komen zijn van PFA of PTFE
  • 1 miljoen gekwalificeerde regelschakelcycli
  • Cleanroomproductie (HP versie), voldoet aan SEMI F 57
  • Mediumtemperatuur:10 tot 150 °C
  • Omgevingstemperatuur:0 tot 40 °C
  • Bedrijfsdruk:0 tot 6 bar
  • Aansluitgroottes1/4'' tot 3/4''
  • Behuizingsvormen:Doorgangsafsluiter
  • Aansluitmethoden:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Materialen afsluiterhuis:PFA | PTFE TFM™
  • Afdichtmateriaal:PTFE TFM™
  • Voedingsspanning:24 V DC
  • Ingangssignalen0 - 10 V | 4 - 20 mA
  • Regelsnelheid:max. 2 mm/s
  • Beschermklasse:IP65
Productoverzicht Meerwegventielblokken
Self-sealing joint for GEMÜ PC50 iComLine valve block solutions

Gebruik van het product

Zelfdichtende verbinding bij oplossingen met PC50 iComLine-afsluiterblokken van GEMÜ

In de halfgeleiderindustrie worden bij reinigings-, coating- en etsprocessen verschillende chemicaliën gebruikt. Om het gebruik van deze deels uiterst agressieve chemicaliën ook op een beperkte ruimte te kunnen regelen, worden oplossingen met PC50 iComLine-afsluiterblokken van GEMÜ toegepast. Voor het verbinden van afzonderlijke blokdelen maakt GEMÜ gebruik van vrije verbindingsopties zonder O-ringen. Ontdek in deze toepassingscase op welke wijze GEMÜ de uitdagingen van de verbindingstechniek het hoofd biedt en een zelfdichtende verbinding als standaard kan leveren.

Nieuws over het product

20.07.2020

GEMÜ ontwikkelt nieuwe elektromotorisch bediende regelafsluiter