Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet er sich insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse und Anwendungen im Analytik-Bereich einer jeden Halbleiterfertigung.
- Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
- Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
- Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
- Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
- Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
- 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
- Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F 57
- Anschlussart: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
- Antriebsart: elektromotorisch
- Dichtwerkstoff
- Körperwerkstoff: PFA; PTFE TFM™
- Max. Betriebsdruck: 6 bar
- Max. Medientemperatur: 150 °C
- Min. Medientemperatur: 10 °C
- Nennweiten: ; DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2'')