GEMÜ C53 iComLine

Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet er sich insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse und Anwendungen im Analytik-Bereich einer jeden Halbleiterfertigung.

• Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
• Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
• Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
• Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
• Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
• 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
• Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F 57