GEMÜ C53 iComLine

Elektromotorisch betätigtes Regelventil

  • Beschreibung
  • Merkmale
  • Technische Details

Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet er sich insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse und Anwendungen im Analytik-Bereich einer jeden Halbleiterfertigung.

  • Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
  • Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
  • Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
  • Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
  • Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
  • 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
  • Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F 57
  • Medientemperatur:10 bis 150 °C
  • Umgebungstemperatur:0 bis 40 °C
  • Betriebsdruck:0 bis 6 bar
  • Anschlussgrößen:1/4'' bis 3/4''
  • Körperformen:Durchgangskörper
  • Anschlussarten:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Körperwerkstoffe:PTFE TFM™ | PFA
  • Dichtwerkstoff:PTFE TFM™
  • Versorgungsspannung:24 V DC
  • Eingangssignale:0 - 10 V | 4 - 20 mA
  • Stellgeschwindigkeit:max. 2 mm/s
  • Schutzart:IP65

News zum Produkt

20.07.2020

GEMÜ entwickelt neues elektromotorisch betätigtes Regelventil