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GEMÜ C53 iComLine

Elektromotorisch betätigtes Regelventil

  • Beschreibung
  • Merkmale
  • Technische Details

Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet er sich insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse und Anwendungen im Analytik-Bereich einer jeden Halbleiterfertigung.

  • Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
  • Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
  • Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
  • Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
  • Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
  • 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
  • Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F 57
  • Anschlussart: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
  • Antriebsart: elektromotorisch
  • Dichtwerkstoff
  • Körperwerkstoff: PFA; PTFE TFM™
  • Max. Betriebsdruck: 6 bar
  • Max. Medientemperatur: 150 °C
  • Min. Medientemperatur: 10 °C
  • Nennweiten: ; DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2'')

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20.07.2020

GEMÜ entwickelt neues elektromotorisch betätigtes Regelventil

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