GEMÜ C53 iComLine

Valvola di regolazione ad azionamento motorizzato

  • Descrizione
  • Caratteristiche
  • Specifiche tecniche

La valvola a otturatore con membrana di separazione a 2/2 vie GEMÜ C53 iComLine è stata progettata per applicazioni di regolazione precise e difficili nella produzione di semiconduttori. Il principio di tenuta della valvola si basa sulla comprovata tecnologia PD di GEMÜ, che consente di separare l'attuatore e il fluido tramite un otturatore in PTFE. Essendo possibile adattare alle esigenze del cliente il contorno dell'otturatore, la corsa dell'attuatore e le grandezze dell'attacco, la GEMÜ C53 iComLine riesce a compiere pressoché tutte le operazioni di regolazione e di portata della moderna industria dei semiconduttori. Combinando il preciso motore passo passo con materiali corpo ad alto grado di purezza, la valvola risulta particolarmente adatta ai processi di litografia, CMP e acidatura, nonché alle applicazioni di analisi in ogni produzione di semiconduttori.

  • Valvola di regolazione per applicazioni ad alto grado di purezza nell'industria dei semiconduttori
  • Attuatore lineare ad alta risoluzione con motore passo passo
  • Valvola a otturazione con membrana di separazione basata sulla serie iComLine
  • Famosa tecnologia Plug Diaphragm
  • Tutte le parti a contatto con fluido sono in PFA o PTFE
  • 1 milione di cicli di regolazione qualificati
  • Produzione in camera bianca (versione HP), in conformità a SEMI F 57
  • Tipo di attacco: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
  • Modalità azionamento: a motore elettrico
  • Materiali di tenuta
  • Materiale corpo: PFA; PTFE TFM™
  • Pressione di esercizio max: 6 bar
  • Temperatura fluidi max: 150 ° C
  • Temperatura fluidi min: 10 ° C
  • Diametri nominali: DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2''); DN 20 (3/4'')

Novità sul prodotto

20.07.2020

GEMÜ sviluppa una nuova valvola di regolazione ad azionamento elettrico