La valvola a otturatore con membrana di separazione a 2/2 vie GEMÜ C53 iComLine è stata progettata per applicazioni di regolazione precise e difficili nella produzione di semiconduttori. Il principio di tenuta della valvola si basa sulla comprovata tecnologia PD di GEMÜ, che consente di separare l'attuatore e il fluido tramite un otturatore in PTFE. Essendo possibile adattare alle esigenze del cliente il contorno dell'otturatore, la corsa dell'attuatore e le grandezze dell'attacco, la GEMÜ C53 iComLine riesce a compiere pressoché tutte le operazioni di regolazione e di portata della moderna industria dei semiconduttori. Combinando il preciso motore passo passo con materiali corpo ad alto grado di purezza, la valvola risulta particolarmente adatta ai processi di litografia, CMP e acidatura, nonché alle applicazioni di analisi in ogni produzione di semiconduttori.
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- Tutte le parti a contatto con fluido sono in PFA o PTFE
- 1 milione di cicli di regolazione qualificati
- Produzione in camera bianca (versione HP), in conformità a SEMI F 57
- Temperatura del fluido:10 fino a 150 °C
- Temperatura ambiente:0 fino a 40 °C
- Pressione di esercizio:0 fino a 6 bar
- Grandezze attacco1/4'' fino a 3/4''
- Forme del corpo:Corpo a via diritta
- Tipi di connessione:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
- Materiali del corpo:PFA | PTFE
- Materiale di tenuta:PTFE
- Tensione di alimentazione:24 V DC
- Segnali di ingresso0 - 10 V | 4 - 20 mA
- Velocità di regolazione:max. 2 mm/s
- Tipo di protezione:IP65
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