GEMÜ C53 iComLine

Valvola di regolazione ad azionamento motorizzato

  • Descrizione
  • Caratteristiche
  • Specifiche tecniche

La valvola a otturatore con membrana di separazione a 2/2 vie GEMÜ C53 iComLine è stata progettata per applicazioni di regolazione precise e difficili nella produzione di semiconduttori. Il principio di tenuta della valvola si basa sulla comprovata tecnologia PD di GEMÜ, che consente di separare l'attuatore e il fluido tramite un otturatore in PTFE. Essendo possibile adattare alle esigenze del cliente il contorno dell'otturatore, la corsa dell'attuatore e le grandezze dell'attacco, la GEMÜ C53 iComLine riesce a compiere pressoché tutte le operazioni di regolazione e di portata della moderna industria dei semiconduttori. Combinando il preciso motore passo passo con materiali corpo ad alto grado di purezza, la valvola risulta particolarmente adatta ai processi di litografia, CMP e acidatura, nonché alle applicazioni di analisi in ogni produzione di semiconduttori.

  • Valvola di regolazione per applicazioni ad alto grado di purezza nell'industria dei semiconduttori
  • Attuatore lineare ad alta risoluzione con motore passo passo
  • Valvola a otturazione con membrana di separazione basata sulla serie iComLine
  • Famosa tecnologia Plug Diaphragm
  • Tutte le parti a contatto con fluido sono in PFA o PTFE
  • 1 milione di cicli di regolazione qualificati
  • Produzione in camera bianca (versione HP), in conformità a SEMI F 57
  • Temperatura del fluido:10 fino a 150 °C
  • Temperatura ambiente:0 fino a 40 °C
  • Pressione di esercizio:0 fino a 6 bar
  • Grandezze attacco1/4'' fino a 3/4''
  • Forme del corpo:Corpo a via diritta
  • Tipi di connessione:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Materiali del corpo:PFA | PTFE TFM™
  • Materiale di tenuta:PTFE TFM™
  • Tensione di alimentazione:24 V DC
  • Segnali di ingresso0 - 10 V | 4 - 20 mA
  • Velocità di regolazione:max. 2 mm/s
  • Tipo di protezione:IP65
Self-sealing joint for GEMÜ PC50 iComLine valve block solutions

Applicazione relativa al prodotto

Collegamento autosigillante nelle soluzioni di blocchi valvole GEMÜ PC50 iComLine

Nel settore dei semiconduttori si impiegano svariate sostanze chimiche nei processi pulizia, rivestimento e incisione. Per poter regolare queste sostanze chimiche in parte estremamente aggressive anche in condizioni di spazio limitate, è possibile utilizzare soluzioni di blocchi valvole GEMÜ PC50 iComLine. Per collegare singoli componenti dei blocchi, GEMÜ punta su possibilità di collegamento senza O-ring. Questo caso di applicazione vi consentirà di trarre maggiori informazioni in merito a come GEMÜ sia in grado di far fronte alle sfide poste dalla tecnica di collegamento e possa offrire un collegamento autosigillante come standard.

Novità sul prodotto

20.07.2020

GEMÜ sviluppa una nuova valvola di regolazione ad azionamento elettrico