Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet er sich insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse und Anwendungen im Analytik-Bereich einer jeden Halbleiterfertigung.
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- Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
- Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
- Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
- Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
- Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
- 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
- Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F 57
- Medientemperatur:10 bis 150 °C
- Umgebungstemperatur:0 bis 40 °C
- Betriebsdruck:0 bis 6 bar
- Anschlussgrößen:1/4'' bis 3/4''
- Körperformen:Durchgangskörper
- Anschlussarten:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
- Körperwerkstoffe:PTFE TFM™ | PFA
- Dichtwerkstoff:PTFE TFM™
- Versorgungsspannung:24 V DC
- Eingangssignale:0 - 10 V | 4 - 20 mA
- Stellgeschwindigkeit:max. 2 mm/s
- Schutzart:IP65
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