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GEMÜ C53 iComLine

Válvula de controle motorizada

  • Descrição
  • Características
  • Detalhes técnicos

A válvula globo de diafragma de 2/2 vias GEMÜ C53 iComLine foi projetada para aplicações precisas e exigentes de posicionamento na produção de semicondutores. O princípio de vedação da válvula baseia na tecnologia de diafragma obturador testada GEMÜ, no que o atuador e o fluido são isolados por meio dum opturador regulador de PTFE. O contorno do cone regulador, o curso do atuador e os tamanhos de conexão podem ser customizados, e assim, a GEMÜ C53 iComLine cumpre praticamente todos os requisitos de vazão da indústria de alta tecnologia de semicondutores. Com a combinação do motor de passo muito preciso com material do corpo de ultra pureza, a válvula é especialmente adequada para processos de litografia, CMP (polimento químico-mecânico) e processos de corrosão, e para aplicações na área analítica numa fabricação de semicondutores.

  • Válvula de controle para aplicações sanitário-higiênicos na indústria de semicondutores
  • Atuador linear de alta resolução com motor de passo
  • Válvula globo de diafragma a base da série iComLine
  • Tecnologia Plug-Diaphragm testada
  • Todas as partes em contato com o fluido são de PFA ou PTFE
  • 1 milhão de ciclos de acionamento qualificados
  • Produção em sala limpa (versão HP), cumpre SEMI F 57
  • Conexão: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
  • Atuador: Motorizado
  • Material da vedação
  • Material do corpo: PFA; PTFE TFM™
  • Pressão máx. de operação: 6 bar
  • Temperatura máx. do fluido: 150 °C
  • Temperatura mín. do fluido: 10 °C
  • Diâmetros nominais: DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2''); DN 20 (3/4'')

Novidades sobre o produto

20.07.2020

GEMÜ desenvolve uma nova válvula de controle motorizada