GEMÜ C53 iComLine

A válvula globo de diafragma de 2/2 vias GEMÜ C53 iComLine foi projetada para aplicações precisas e exigentes de posicionamento na produção de semicondutores. O princípio de vedação da válvula baseia na tecnologia de diafragma obturador testada GEMÜ, no que o atuador e o fluido são isolados por meio dum opturador regulador de PTFE. O contorno do cone regulador, o curso do atuador e os tamanhos de conexão podem ser customizados, e assim, a GEMÜ C53 iComLine cumpre praticamente todos os requisitos de vazão da indústria de alta tecnologia de semicondutores. Com a combinação do motor de passo muito preciso com material do corpo de ultra pureza, a válvula é especialmente adequada para processos de litografia, CMP (polimento químico-mecânico) e processos de corrosão, e para aplicações na área analítica numa fabricação de semicondutores.

• Válvula de controle para aplicações sanitário-higiênicos na indústria de semicondutores
• Atuador linear de alta resolução com motor de passo
• Válvula globo de diafragma a base da série iComLine
• Tecnologia Plug-Diaphragm testada
• Todas as partes em contato com o fluido são de PFA ou PTFE
• 1 milhão de ciclos de acionamento qualificados
• Produção em sala limpa (versão HP), cumpre SEMI F 57