La válvula de globo de diafragma de 2/2 vías GEMÜ C53 iComLine ha sido desarrollada para aplicaciones exigentes y precisas de regulación en la producción de semiconductores. El principio de estanqueidad de la válvula se basa en la tecnología PD de eficacia probada de GEMÜ, con la que el actuador y el fluido se separan por medio de un cono de regulación de PTFE. Puesto que el contorno del cono de regulación, la carrera del actuador y los tamaños de conexión se pueden adaptar de acuerdo con las especificaciones del cliente, la GEMÜ C53 iComLine cumple casi todos los requisitos de regulación y de caudal de la industria altamente tecnológica de los semiconductores. Gracias a la combinación del preciso motor paso a paso y materiales de cuerpo de alta pureza, la válvula resulta apropiada especialmente para procesos de litografía, de pulido químico-mecánico y de mordentado, así como para aplicaciones en el ámbito de análisis en la producción de cualquier semiconductor.
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- Válvula de regulación para aplicaciones de alta pureza en la industria de semiconductores
- Actuador lineal de alta resolución con motor paso a paso
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- Tecnología plug diaphragm de eficacia probada
- Todas las piezas que están en contacto con el fluido son de PFA o PTFE
- 1 millón de ciclos de funcionamiento de regulación cualificados
- Fabricación en sala blanca (versión HP), cumple la especificación SEMI F 57
- Temperatura del fluido:10 hasta 150 °C
- Temperatura ambiente:0 hasta 40 °C
- Presión de trabajo:0 hasta 6 bar
- Tamaños de la conexión1/4'' hasta 3/4''
- Formas del cuerpo:Cuerpo paso recto
- Tipos de conexión :Conexión tipo Flare | PrimeLock® | Super 300 tipo Pillar®
- Materiales del cuerpo:PFA | PTFE
- Material de la junta:PTFE
- Tensión de alimentación:24 V DC
- Señales de entrada–10 V | 4-20 mA
- Velocidad del movimiento:máx. 2 mm/s
- Tipo de protección:IP65
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