GEMÜ C53 iComLine

Válvula de regulación motorizada

  • Descripción
  • Características
  • Datos técnicos

La válvula de globo de diafragma de 2/2 vías GEMÜ C53 iComLine ha sido desarrollada para aplicaciones exigentes y precisas de regulación en la producción de semiconductores. El principio de estanqueidad de la válvula se basa en la tecnología PD de eficacia probada de GEMÜ, con la que el actuador y el fluido se separan por medio de un cono de regulación de PTFE. Puesto que el contorno del cono de regulación, la carrera del actuador y los tamaños de conexión se pueden adaptar de acuerdo con las especificaciones del cliente, la GEMÜ C53 iComLine cumple casi todos los requisitos de regulación y de caudal de la industria altamente tecnológica de los semiconductores. Gracias a la combinación del preciso motor paso a paso y materiales de cuerpo de alta pureza, la válvula resulta apropiada especialmente para procesos de litografía, de pulido químico-mecánico y de mordentado, así como para aplicaciones en el ámbito de análisis en la producción de cualquier semiconductor.

  • Válvula de regulación para aplicaciones de alta pureza en la industria de semiconductores
  • Actuador lineal de alta resolución con motor paso a paso
  • Válvula de globo de diafragma basada en la serie iComLine
  • Tecnología plug diaphragm de eficacia probada
  • Todas las piezas que están en contacto con el fluido son de PFA o PTFE
  • 1 millón de ciclos de funcionamiento de regulación cualificados
  • Fabricación en sala blanca (versión HP), cumple la especificación SEMI F 57
  • Temperatura del fluido:10 hasta 150 °C
  • Temperatura ambiente:0 hasta 40 °C
  • Presión de trabajo:0 hasta 6 bar
  • Tamaños de la conexión1/4'' hasta 3/4''
  • Formas del cuerpo:Cuerpo paso recto
  • Tipos de conexión :Conexión tipo Flare | PrimeLock® | Super 300 tipo Pillar®
  • Materiales del cuerpo:PFA | PTFE
  • Material de la junta:PTFE
  • Tensión de alimentación:24 V DC
  • Señales de entrada–10 V | 4-20 mA
  • Velocidad del movimiento:máx. 2 mm/s
  • Tipo de protección:IP65
Bloques de válvulas multivía
Self-sealing joint for GEMÜ PC50 iComLine valve block solutions

Aplicación del producto

Unión autosellante con soluciones de bloques de válvulas GEMÜ PC50 iComLine

En el ámbito de los semiconductores, se utilizan diversos productos químicos para los procesos de limpieza, recubrimiento y grabado. A fin de poder controlar estos productos químicos (algunos de los cuales son altamente agresivos) incluso en condiciones de espacio limitadas, se utilizan las soluciones de bloques de válvulas GEMÜ PC50 iComLine. Para unir componentes de bloques, GEMÜ apuesta por las opciones de conexión sin junta tórica. A través de este caso de aplicación, descubrirá cómo GEMÜ supera los desafíos de la técnica de conexión y puede ofrecer una unión autosellante de serie.

Novedades del producto

20.07.2020

GEMÜ desarrolla una nueva válvula de regulación motorizada