GEMÜ C53 iComLine

Регулирующий клапан с электроприводом

  • Описание
  • Характеристики
  • Техническое описание

2/2-ходовой мембранный седельный клапан GEMÜ C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PD-технологии GEMÜ, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика GEMÜ C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.

  • Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
  • Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
  • Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
  • Испытанная технология Plug Diaphragm
  • Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
  • 1 млн. аттестованных циклов переключений
  • Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
  • Температура среды :10 до 150 °C
  • Температура окружающей среды:до 40 °C
  • Рабочее давление :до 6 бар
  • Размеры соединений:1/4'' до 3/4''
  • Формы корпуса :Проходной корпус
  • Виды соединений :PrimeLock® | Super 300 Type Pillar® | Соединение типа Flare
  • Материалы корпуса:PFA | PTFE TFM™
  • Материал уплотнения:PTFE TFM™
  • Напряжение электропитания :24 В=
  • Входные сигналы:–10 В | 4–20 мA
  • Скорость позиционирования :макс. 2 мм/с
  • Класс защиты :IP65
Self-sealing joint for GEMÜ PC50 iComLine valve block solutions

Применение продукта

Самоуплотняющееся соединение в клапанных блоках GEMÜ PC50 iComLine

В ходе производства полупроводниковых приборов для процессов очистки, нанесения покрытий и травления используются различные химические вещества. Клапанные блоки GEMÜ PC50 iComLine эффективно применяются для контроля этих химикатов – некоторые из которых являются очень агрессивными – даже в условиях ограниченного пространства. Для соединения отдельных блочных компонентов GEMÜ применяются соединения без кольцевого уплотнителя. Здесь вы узнаете, как компания GEMÜ мастерски справляется со сложными задачами по соединению с использованием самоуплотняющегося соединения в качестве стандартного решения.

Новая информация о продукте

20.07.2020

Компания GEMÜ разработала новый регулирующий клапан с электрическим управлением