GEMÜ C53 iComLine

Регулирующий клапан с электроприводом

  • Описание
  • Характеристики
  • Техническое описание

2/2-ходовой мембранный седельный клапан GEMÜ C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PD-технологии GEMÜ, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика GEMÜ C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.

  • Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
  • Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
  • Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
  • Испытанная технология Plug Diaphragm
  • Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
  • 1 млн. аттестованных циклов переключений
  • Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
  • Температура среды :10 до 150 °C
  • Температура окружающей среды:до 40 °C
  • Рабочее давление :до 6 бар
  • Размеры соединений:1/4'' до 3/4''
  • Формы корпуса :Проходной корпус
  • Виды соединений :PrimeLock® | Super 300 Type Pillar® | Соединение типа Flare
  • Материалы корпуса:PFA | PTFE TFM™
  • Материал уплотнения:PTFE TFM™
  • Напряжение электропитания :24 В=
  • Входные сигналы:–10 В | 4–20 мA
  • Скорость позиционирования :макс. 2 мм/с
  • Класс защиты :IP65

Новая информация о продукте

20.07.2020

Компания GEMÜ разработала новый регулирующий клапан с электрическим управлением