GEMÜ C53 iComLine

Регулирующий клапан с электроприводом

  • Описание
  • Характеристики
  • Техническое описание

2/2-ходовой мембранный седельный клапан GEMÜ C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PD-технологии GEMÜ, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика GEMÜ C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.

  • Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
  • Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
  • Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
  • Испытанная технология Plug Diaphragm
  • Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
  • 1 млн. аттестованных циклов переключений
  • Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
  • Вид присоединений: PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®; Соединение типа Flare
  • Тип привода: электрический
  • Материал уплотнения
  • Материал корпуса: PFA; PTFE TFM™
  • Макс. рабочее давление: 6 бар
  • Макс. температура среды: 150 ° C
  • Мин. температура среды: 10 ° C
  • Сечения: DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2''); DN 20 (3/4'')

Новая информация о продукте

20.07.2020

Компания GEMÜ разработала новый регулирующий клапан с электрическим управлением