GEMÜ C53 iComLine

2/2-ходовой мембранный седельный клапан GEMÜ C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PD-технологии GEMÜ, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика GEMÜ C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.

• Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
• Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
• Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
• Испытанная технология Plug Diaphragm
• Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
• 1 млн. аттестованных циклов переключений
• Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57

• Температура среды :10 до 150 °C
• Температура окружающей среды:до 40 °C
• Рабочее давление :до 6 бар
• Размеры соединений:1/4'' до 3/4''
• Формы корпуса :Проходной корпус
• Виды соединений :PrimeLock® | Super 300 Type Pillar® | Соединение типа Flare
• Материалы корпуса:PFA | PTFE
• Материал уплотнения:PTFE
• Напряжение электропитания :24 В=
• Входные сигналы:–10 В | 4–20 мA
• Скорость позиционирования :макс. 2 мм/с
• Класс защиты :IP65