2/2-vägs membransätesventilen GEMÜ C53 iComLine har utvecklats för exakta standardapplikationer med höga krav inom tillverkningen av halvledare. Ventilens tätningsprincip baseras på den beprövade GEMÜ-PD-tekniken, som skiljer manöverdon och medium åt med hjälp av en reglerkägla av PTFE. Eftersom det går att anpassa formen på reglerkäglan, manöverdonet och anslutningsdimensionerna efter kundens önskemål uppfyller GEMÜ C53 iComLine nästintill alla regler- och flödeskrav för den högteknologiska halvledarindustrin. Genom kombinationen av den precisa stegmotorn och högrena ventilhusmaterial passar ventilen framförallt för litografi-, CMP- och frätningsprocesser, samt användningar inom analys för tillverkning av halvledare.
- Företag
- Produkter
- Ventilteknik
- Vridspjällsventiler
- CONEXO - Ventiler med RFID
- Tryckreglerventiler
- Monteringsdelar och slangar
- Kulventiler
- Magnetventiler
- Elektriska ventiler
- Flervägsventilblock
- Membranventiler
- Membran
- Membransätesventiler
- Reglerventiler
- Backventiler
- Sätesventiler
- Ventiler för engångsbruk
- Manöverdon till ventiler
- Styrventiler
- Bottenutlopp och behållarventiler
- Tillbehör Ventilteknik
- Ventilkunskap
- Mät- och reglerteknik
- Kundlösningar
- Medicinsk teknik
- Formsprutning av komponenter i renrum
- Montering av komponenter i renrum
- Kundanpassad tillverkning av komponenter
- Ready to Sterilize
- Verktygstillverkning för framställning av plastkomponenter
- Komponentgrupper
- Kvalificering
- Processtyrning vid tillverkning
- Ventiler och MSR för stora maskiner
- Ventiler och MSR-laboratorie- och analysinstrument
- LEAP INTO THE FUTURE
- Ventilteknik
- Applikationer
- Nedladdning
- Service
- Aktuellt
- Kontakter
- Reglerventil för högrena tillämpningar inom halvledarindustrin
- Högupplöst, linjärt ställdon med stegmotor
- Membransätesventil baserad på iComLine-modellserien
- Beprövad plug-diaphragm-teknik
- Alla delar som kommer i kontakt med mediet är tillverkade av PFA eller PTFE
- 1 miljon kvalificerade reglerkopplingscykler
- Renrumsproduktion (HP-version), uppfyller SEMI F 57
- Mediets temperatur:10 till 150 °C
- Omgivningstemperatur:0 till 40 °C
- Drifttryck:0 till 6 bar
- Anslutningsdimensioner1/4'' till 3/4''
- Ventilhusformer:Ventilhus med rakt genomflöde
- Anslutningstyper:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
- Ventilhusmaterial:PFA | PTFE
- Tätningsmaterial:PTFE
- Matningsspänning:24 V DC
- Ingångssignaler–10 V | 4–20 mA
- Ställhastighet:Max. 2 mm/s
- Kapslingsklass:IP65
 |
|---|
| Produktöversikt Flervägsventilblock |
