GEMÜ C53 iComLine

Elmanövrerad reglerventil

Individuella utföranden med pris och leveranstider finns i webbutiken
  • Beskrivning
  • Funktioner
  • Tekniska specifikationer

2/2-vägs membransätesventilen GEMÜ C53 iComLine har utvecklats för exakta standardapplikationer med höga krav inom tillverkningen av halvledare. Ventilens tätningsprincip baseras på den beprövade GEMÜ-PD-tekniken, som skiljer manöverdon och medium åt med hjälp av en reglerkägla av PTFE. Eftersom det går att anpassa formen på reglerkäglan, manöverdonet och anslutningsdimensionerna efter kundens önskemål uppfyller GEMÜ C53 iComLine nästintill alla regler- och flödeskrav för den högteknologiska halvledarindustrin. Genom kombinationen av den precisa stegmotorn och högrena ventilhusmaterial passar ventilen framförallt för litografi-, CMP- och frätningsprocesser, samt användningar inom analys för tillverkning av halvledare.

  • Reglerventil för högrena tillämpningar inom halvledarindustrin
  • Högupplöst, linjärt ställdon med stegmotor
  • Membransätesventil baserad på iComLine-modellserien
  • Beprövad plug-diaphragm-teknik
  • Alla delar som kommer i kontakt med mediet är tillverkade av PFA eller PTFE
  • 1 miljon kvalificerade reglerkopplingscykler
  • Renrumsproduktion (HP-version), uppfyller SEMI F 57
  • Mediets temperatur:10 till 150 °C
  • Omgivningstemperatur:0 till 40 °C
  • Drifttryck:0 till 6 bar
  • Anslutningsdimensioner1/4'' till 3/4''
  • Ventilhusformer:Genomloppshus
  • Anslutningstyper:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Ventilhusmaterial:PFA | PTFE TFM™
  • Tätningsmaterial:PTFE TFM™
  • Försörjningsspänning:24 V DC
  • Ingångssignaler–10 V | 4–20 mA
  • Stellgeschwindigkeit:Max. 2 mm/s
  • Kapslingsklass:IP65
Self-sealing joint for GEMÜ PC50 iComLine valve block solutions

Tillämpning av produkten

Självtätande förbindelse med ventilblocken GEMÜ PC50 iComLine

Vid tillverkningen av halvledare används olika kemikalier vid rengörings-, beläggnings- och etsningsprocessen. GEMÜs ventilblock PC50 iComLine kan användas till att reglera dessa till viss del mycket aggressiva kemikalier, även i begränsade utrymmen. För att kunna koppla ihop flera enskilda blockkomponenter har GEMÜ satsat på genomföringar utan O-ringar. I det här exemplet får du veta mer om hur GEMÜ har tacklat utmaningen med förbindelsetekniken och tagit fram en självtätande genomföring att erbjuda som standard.

Nyheter om produkten

20.07.2020

GEMÜ utvecklar en ny elmotordriven reglerventil