GEMÜ C53 iComLine

2/2-vejs-membransædeventilen GEMÜ C53 iComLine blev udviklet med henblik på præcise og krævende reguleringsopgaver inden for halvlederfremstilling. Ventilens tætningsprincip er baseret på den gennemprøvede GEMÜ PD-teknologi, hvor aktuatoren er adskilt fra mediet via en PTFE-reguleringskonus. Da reguleringskonussens kontur, aktuatorvandringen og tilslutningsværdierne kan tilpasses kundespecifikt, opfylder GEMÜ C53 iComLine næsten alle regulerings- og flowkrav inden for den højteknologiske halvlederindustri. Takket være kombinationen af den præcise stepmotor med ultrarene ventilhusmaterialer er ventilen særligt egnet til litografi-, CMP- og ætsningsprocesser samt til brug på analytikområdet inden for enhver halvlederfremstilling.

• Reguleringsventil til ultrarene applikationer i halvlederindustrien
• Aktuator med lineær bevægelse, høj opløsning og stepmotor
• Membransædeventil på basis af iComLine-serien
• Gennemprøvet Plug-Diaphragm-teknologi
• Alle medieberørte dele er fremstillet af PFA eller PTFE
• 1 mio. kvalificerede reguleringsomskiftningscyklusser
• Renrumsfremstilling (HP-version), opfylder SEMI F 57

• Medietemperatur:10 indtil 150 °C
• Omgivelsestemperatur:0 indtil 40 °C
• Driftstryk:0 indtil 6 bar
• Tilslutningsdimensioner1/4'' indtil 3/4''
• Ventilhusformer:2/2-vejs
• Tilslutningstyper:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
• Ventilhusmaterialer:PFA | PTFE TFM™
• Tætningsmateriale:PTFE TFM™
• Forsyningsspænding:24 V DC
• Indgangssignaler0 - 10 V | 4 - 20 mA
• Indstillingshastighed:maks. 2 mm/s
• Kapslingsklasse:IP65