GEMÜ C53 iComLine

Elektrisk betjent reguleringsventil

  • Beskrivelse
  • Fordele
  • Tekniske specifikationer

2/2-vejs-membransædeventilen GEMÜ C53 iComLine blev udviklet med henblik på præcise og krævende reguleringsopgaver inden for halvlederfremstilling. Ventilens tætningsprincip er baseret på den gennemprøvede GEMÜ PD-teknologi, hvor aktuatoren er adskilt fra mediet via en PTFE-reguleringskonus. Da reguleringskonussens kontur, aktuatorvandringen og tilslutningsværdierne kan tilpasses kundespecifikt, opfylder GEMÜ C53 iComLine næsten alle regulerings- og flowkrav inden for den højteknologiske halvlederindustri. Takket være kombinationen af den præcise stepmotor med ultrarene ventilhusmaterialer er ventilen særligt egnet til litografi-, CMP- og ætsningsprocesser samt til brug på analytikområdet inden for enhver halvlederfremstilling.

  • Reguleringsventil til ultrarene applikationer i halvlederindustrien
  • Aktuator med lineær bevægelse, høj opløsning og stepmotor
  • Membransædeventil på basis af iComLine-serien
  • Gennemprøvet Plug-Diaphragm-teknologi
  • Alle medieberørte dele er fremstillet af PFA eller PTFE
  • 1 mio. kvalificerede reguleringsomskiftningscyklusser
  • Renrumsfremstilling (HP-version), opfylder SEMI F 57
  • Medietemperatur:10 indtil 150 °C
  • Omgivelsestemperatur:0 indtil 40 °C
  • Driftstryk:0 indtil 6 bar
  • Tilslutningsdimensioner1/4'' indtil 3/4''
  • Ventilhusformer:2/2-vejs
  • Tilslutningstyper:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Ventilhusmaterialer:PFA | PTFE TFM™
  • Tætningsmateriale:PTFE TFM™
  • Forsyningsspænding:24 V DC
  • Indgangssignaler0 - 10 V | 4 - 20 mA
  • Indstillingshastighed:maks. 2 mm/s
  • Kapslingsklasse:IP65

Nyheder om produktet

20.07.2020

GEMÜ udvikler en ny el-motorbetjent reguleringsventil