2/2-vejs-membransædeventilen GEMÜ C53 iComLine blev udviklet med henblik på præcise og krævende reguleringsopgaver inden for halvlederfremstilling. Ventilens tætningsprincip er baseret på den gennemprøvede GEMÜ PD-teknologi, hvor aktuatoren er adskilt fra mediet via en PTFE-reguleringskonus. Da reguleringskonussens kontur, aktuatorvandringen og tilslutningsværdierne kan tilpasses kundespecifikt, opfylder GEMÜ C53 iComLine næsten alle regulerings- og flowkrav inden for den højteknologiske halvlederindustri. Takket være kombinationen af den præcise stepmotor med ultrarene ventilhusmaterialer er ventilen særligt egnet til litografi-, CMP- og ætsningsprocesser samt til brug på analytikområdet inden for enhver halvlederfremstilling.
- Virksomhed
- Produkter
- Ventilteknik
- Butterflyventiler
- CONEXO - Ventiler med RFID
- Trykreguleringsventiler
- Fittings og slanger
- Kugleventiler
- Magnetventiler
- Elektriske ventiler
- Flervejs-ventilblokke
- Membranventiler
- Membraner
- Membransædeventiler
- Reguleringsventiler
- Kontraventiler
- Sædeventiler
- Single-Use Ventiler
- Ventilaktuatorer
- Pilotventiler
- Tilbehør Ventilteknik
- Ventilviden
- Måle- og reguleringsteknik
- Kundeløsninger
- Medikoteknik
- Ventilteknik
- Applikationer
- Download og support
- Aktuelt
- Kontakt
- Reguleringsventil til ultrarene applikationer i halvlederindustrien
- Aktuator med lineær bevægelse, høj opløsning og stepmotor
- Membransædeventil på basis af iComLine-serien
- Gennemprøvet Plug-Diaphragm-teknologi
- Alle medieberørte dele er fremstillet af PFA eller PTFE
- 1 mio. kvalificerede reguleringsomskiftningscyklusser
- Renrumsfremstilling (HP-version), opfylder SEMI F 57
- Tilslutningstyper: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
- Aktuatortype: elektromotorisk
- Tætningsmateriale
- Ventilhusmateriale: PFA; PTFE TFM™
- Maks. driftstryk: 6 bar
- Max. medietemperatur: 150 ° C
- Min. medietemperatur: 10 ° C
- Indvendige diametre: DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2''); DN 20 (3/4'')
