GEMÜ C53 iComLine

Elektrisk betjent reguleringsventil

  • Beskrivelse
  • Fordele
  • Tekniske specifikationer

2/2-vejs-membransædeventilen GEMÜ C53 iComLine blev udviklet med henblik på præcise og krævende reguleringsopgaver inden for halvlederfremstilling. Ventilens tætningsprincip er baseret på den gennemprøvede GEMÜ PD-teknologi, hvor aktuatoren er adskilt fra mediet via en PTFE-reguleringskonus. Da reguleringskonussens kontur, aktuatorvandringen og tilslutningsværdierne kan tilpasses kundespecifikt, opfylder GEMÜ C53 iComLine næsten alle regulerings- og flowkrav inden for den højteknologiske halvlederindustri. Takket være kombinationen af den præcise stepmotor med ultrarene ventilhusmaterialer er ventilen særligt egnet til litografi-, CMP- og ætsningsprocesser samt til brug på analytikområdet inden for enhver halvlederfremstilling.

  • Reguleringsventil til ultrarene applikationer i halvlederindustrien
  • Aktuator med lineær bevægelse, høj opløsning og stepmotor
  • Membransædeventil på basis af iComLine-serien
  • Gennemprøvet Plug-Diaphragm-teknologi
  • Alle medieberørte dele er fremstillet af PFA eller PTFE
  • 1 mio. kvalificerede reguleringsomskiftningscyklusser
  • Renrumsfremstilling (HP-version), opfylder SEMI F 57
  • Tilslutningstyper: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
  • Aktuatortype: elektromotorisk
  • Tætningsmateriale
  • Ventilhusmateriale: PFA; PTFE TFM™
  • Maks. driftstryk: 6 bar
  • Max. medietemperatur: 150 ° C
  • Min. medietemperatur: 10 ° C
  • Indvendige diametre: DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2''); DN 20 (3/4'')

Nyheder om produktet

20.07.2020

GEMÜ udvikler en ny el-motorbetjent reguleringsventil