2/2-tie-kalvoistukkaventtiili GEMÜ C53 iComLine on tarkoitettu puolijohdevalmistuksen tarkkoihin ja vaativiin säätösovelluksiin. Venttiilin tiivisterakenne perustuu luotettavaan GEMÜn PD-tekniikkaan, joka erottaa toimilaitteen ja väliaineen toisistaan PTFE-säätökartiolla. Säätökartion muoto, toimilaiteiskut ja liitäntäkoot voidaan sovittaa asiakaskohtaisesti, minkä ansiosta GEMÜ C53 iComLine täyttää lähes kaikki huippumodernin puolijohdeteollisuuden säätö- ja läpivirtausvaatimukset. Tarkan askelmoottorin ja erittäin puhtaiden runkomateriaalien ansiosta se soveltuu erityisesti litografisiin, kemiallis-mekaanisiin ja etsausprosesseihin sekä analytiikkasovelluksiin puolijohdevalmistuksessa.
- Yritys
- Tuotteet
- Venttiilitekniikka
- Läppäventtiilit
- CONEXO - Venttiilit RFID
- Paineensäätöventtiilit
- Putkiosat ja letkut
- Palloventtiilit
- Magneettiventtiilit
- Sähkötoimiset venttiilit
- Monitieventtiililohkot
- Kalvoventtiilit
- Kalvot
- Kalvoistukkaventtiilit
- Säätöventtiilit
- Takaiskuventtiilit
- Istukkaventtiilit
- Kertakäyttöventtiilit
- Venttiilien toimilaitteet
- Pilottiventtiili
- Lisävarusteet Venttiilitekniikka
- Venttiilitieto
- Mittaus- ja säätötekniikka
- Asiakasratkaisut
- Lääketeollisuus
- Puhdastila-ruiskuvalukomponentit
- Puhdastilassa asennettavat komponentit
- Komponenttien tekninen suunnittelu
- Ready to Sterilize
- Komponentit valumuottien valmistukseen
- Rakenneryhmäkomponentit
- Komponenttien kvalifiointi
- Prosessinhallintakomponentit
- Venttiilit ja mittaus-, ohjaus- ja säätötekniikan suurlaitteet
- Venttiilit laboratorio- ja analyysilaitteisiin
- LEAP INTO THE FUTURE
- Venttiilitekniikka
- Sovellukset
- Ladata
- Palvelu
- Ajankohtaista
- Yhteyshenkilö
- Säätöventtiili puolijohdevalmistuksen erittäin puhtaisiin sovelluksiin
- Askelmoottorikäyttöinen, tarkasti toimiva lineaarinen toimilaite
- iComLine-mallisarjaan perustuva kalvoistukkaventtiili
- Luotettava Plug Diaphragm -tekniikka
- Kaikissa väliaineen kanssa kosketuksiin joutuvissa osissa materiaalina on PFA tai PTFE
- 1 milj. kvalifioitua säätökytkentäsykliä
- Puhdastilatuotanto (HP-versio), täyttää standardin SEMI F 57 vaatimukset
- Väliaineen lämpötila:10 - 150 °C
- Ympäristön lämpötila:0 - 40 °C
- Käyttöpaine:0 - 6 bar
- Liitäntäkoot1/4'' - 3/4''
- Runkotyypit:Läpivirtausrunko
- Liitäntätyypit:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
- Runkomateriaalit:PFA | PTFE
- Tiivistemateriaali:PTFE
- Syöttöjännite:24 V DC
- Tulosignaalit–10 V | 4–20 mA
- :maks. 2 mm/s
- IP-luokitus:IP65
 |
|---|
| Tuotevalikoima monitieventtiililohkot |
