GEMÜ C53 iComLine

Sähkömoottorilla toimiva säätöventtiili

  • Kuvaus
  • Ominaisuudet
  • Tekniset tiedot

2/2-tie-kalvoistukkaventtiili GEMÜ C53 iComLine on tarkoitettu puolijohdevalmistuksen tarkkoihin ja vaativiin säätösovelluksiin. Venttiilin tiivisterakenne perustuu luotettavaan GEMÜn PD-tekniikkaan, joka erottaa toimilaitteen ja väliaineen toisistaan PTFE-säätökartiolla. Säätökartion muoto, toimilaiteiskut ja liitäntäkoot voidaan sovittaa asiakaskohtaisesti, minkä ansiosta GEMÜ C53 iComLine täyttää lähes kaikki huippumodernin puolijohdeteollisuuden säätö- ja läpivirtausvaatimukset. Tarkan askelmoottorin ja erittäin puhtaiden runkomateriaalien ansiosta se soveltuu erityisesti litografisiin, kemiallis-mekaanisiin ja etsausprosesseihin sekä analytiikkasovelluksiin puolijohdevalmistuksessa.

  • Säätöventtiili puolijohdevalmistuksen erittäin puhtaisiin sovelluksiin
  • Askelmoottorikäyttöinen, tarkasti toimiva lineaarinen toimilaite
  • iComLine-mallisarjaan perustuva kalvoistukkaventtiili
  • Luotettava Plug Diaphragm -tekniikka
  • Kaikissa väliaineen kanssa kosketuksiin joutuvissa osissa materiaalina on PFA tai PTFE
  • 1 milj. kvalifioitua säätökytkentäsykliä
  • Puhdastilatuotanto (HP-versio), täyttää standardin SEMI F 57 vaatimukset
  • Liitäntätyyppi: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
  • Käyttötapa: sähkömoottorikäyttöinen
  • Tiivistemateriaali
  • Runkomateriaali: PFA; PTFE TFM™
  • Maks. käyttöpaine: 6 bar
  • Väliaineen max. lämpötila: 150 ° C
  • Väliaineen min. lämpötila: 10 ° C
  • Putkikoko: DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2''); DN 20 (3/4'')

Tuoteuutisia

20.07.2020

GEMÜ on kehittänyt uuden sähkömoottorikäyttöisen säätöventtiilin