GEMÜ C53 iComLine

Sähkömoottorilla toimiva säätöventtiili

  • Kuvaus
  • Ominaisuudet
  • Tekniset tiedot

2/2-tie-kalvoistukkaventtiili GEMÜ C53 iComLine on tarkoitettu puolijohdevalmistuksen tarkkoihin ja vaativiin säätösovelluksiin. Venttiilin tiivisterakenne perustuu luotettavaan GEMÜn PD-tekniikkaan, joka erottaa toimilaitteen ja väliaineen toisistaan PTFE-säätökartiolla. Säätökartion muoto, toimilaiteiskut ja liitäntäkoot voidaan sovittaa asiakaskohtaisesti, minkä ansiosta GEMÜ C53 iComLine täyttää lähes kaikki huippumodernin puolijohdeteollisuuden säätö- ja läpivirtausvaatimukset. Tarkan askelmoottorin ja erittäin puhtaiden runkomateriaalien ansiosta se soveltuu erityisesti litografisiin, kemiallis-mekaanisiin ja etsausprosesseihin sekä analytiikkasovelluksiin puolijohdevalmistuksessa.

  • Säätöventtiili puolijohdevalmistuksen erittäin puhtaisiin sovelluksiin
  • Askelmoottorikäyttöinen, tarkasti toimiva lineaarinen toimilaite
  • iComLine-mallisarjaan perustuva kalvoistukkaventtiili
  • Luotettava Plug Diaphragm -tekniikka
  • Kaikissa väliaineen kanssa kosketuksiin joutuvissa osissa materiaalina on PFA tai PTFE
  • 1 milj. kvalifioitua säätökytkentäsykliä
  • Puhdastilatuotanto (HP-versio), täyttää standardin SEMI F 57 vaatimukset
  • Väliaineen lämpötila:10 - 150 °C
  • Ympäristön lämpötila:0 - 40 °C
  • Käyttöpaine:0 - 6 bar
  • Liitäntäkoot1/4'' - 3/4''
  • Runkotyypit:Läpivirtausrunko
  • Liitäntätyypit:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Runkomateriaalit:PFA | PTFE TFM™
  • Tiivistemateriaali:PTFE TFM™
  • Syöttöjännite:24 V DC
  • Tulosignaalit–10 V | 4–20 mA
  • :maks. 2 mm/s
  • IP-luokitus:IP65

Tuoteuutisia

20.07.2020

GEMÜ on kehittänyt uuden sähkömoottorikäyttöisen säätöventtiilin